Áö¸à½º µðÁöÅÐ Àδõ½ºÆ®¸® ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î, Áö¸à½º EDA »ç¾÷ºÎ´Â ¿À´Ã, ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®¿ÍÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ »õ·Î¿î ÀüÀÚ ¼³°è ÀÚµ¿È(EDA) Á¦Ç° ÀÎÁõ°ú EMIB(ÀÓº£µðµå ¸ÖƼ ´ÙÀÌ »óÈ£ ¿¬°á ºê¸®Áö, ¼·Î ´Ù¸¥ °øÁ¤°ú ¾ÆÅ°ÅØó ±â¹Ý Ĩ ÅëÇÕ ±â¼ú) Áö¿ø Çõ½ÅÀ¸·Î »óÈ£ °í°´ÀÌ 3D-IC(3D ÁýÀû ȸ·Î) ¼³°èÀÇ ¼º´É, °ø°£ ¹× Àü·Â È¿À² ÀÌÁ¡À» ÈξÀ ´õ ºü¸£°Ô È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇÑ´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
¾ç»ç´Â ÃÖ±Ù ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ ÀÎÅÚ 16 ¹× ÀÎÅÚ 18A ³ëµå¸¦ À§ÇÑ Solido Simulation Suite (¼Ö¸®µµ ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ½ºÀ§Æ®) ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾îÀÇ ÀϺÎÀÎ Áö¸à½ºÀÇ »õ·Î¿î Solido SPICE ¸¦ ÀÎÁõÇß´Ù. Áö´ÉÇü IC ¼³°è ¹× °ËÁõÀ» À§ÇÑ AI °¡¼Ó ½Ã¹Ä·¹ÀÌÅÍÀÇ °í±Þ Æ÷Æ®Æú¸®¿ÀÀÎ Áö¸à½ºÀÇ »õ·Î¿î ¼Ö¸®µµ ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ½ºÀ§Æ®´Â ¾Æ³¯·Î±×, È¥ÇÕ ½ÅÈ£, RF, ¸Þ¸ð¸®, ¶óÀ̺귯¸® IP, 3D-IC ¹× ½Ã½ºÅÛ ¿Â Ĩ(SoC) ¼³°è¸¦ À§ÇÑ ÃÖ÷´Ü ±â´ÉÀÇ Ç³ºÎÇÑ È¸·Î °ËÁõÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.
ÀÎÅÚ 18A´Â ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ °øÁ¤ ±â¼ú ·Îµå¸ÊÀÇ ÃֽŠ¹ßÀüÀ¸·Î, °í°´ÀÌ Â÷¼¼´ë Á¦Ç°ÀÇ ÁýÀûµµ¿Í ¼º´ÉÀ» ÃÖÀûÈÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇϴ ÷´Ü ¸®º»FET GAA(°ÔÀÌÆ®-¿Ã-¾î¶ó¿îµå) Æ®·£Áö½ºÅÍ ¾ÆÅ°ÅØó¿Í PowerVia Èĸé(backside, ¹é»çÀ̵å) Àü·Â °ø±Þ ±â¼úÀ» °Á¡À¸·Î °¡Áö°í ÀÖ´Ù. ÀÎÅÚ 18A´Â °í¼º´É ÄÄÇ»ÆÃ(HPC), ¸ð¹ÙÀÏ ¹× ±âŸ ±î´Ù·Ó°í ºü¸£°Ô ¼ºÀåÇÏ´Â ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» Æ÷ÇÔÇÑ °í¼ºÀå ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» ´ë»óÀ¸·Î ÇÏ´Â IC ¼³°è¿¡ ÀÌ»óÀûÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÎÅÚ 18A¿Í ÀÎÅÚ 16Àº ÀÌÁ¦ Áö¸à½ºÀÇ ¼Ö¸®µµ ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ½ºÀ§Æ®(Solido Simulation Suite)°¡ Áö¿øÇÏ´Â ¿¡ÀÌ¡ ¸ðµ¨¸µ ¹× ½Å·Ú¼º(aging modeling and reliability) ºÐ¼®À» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ´Â ¾÷°è Ç¥ÁØ Ç÷§ÆûÀÎ °³¹æÇü ¸ðµ¨ ÀÎÅÍÆäÀ̽º(OMI)¸¦ ÅëÇØ È°¼ºÈµÈ´Ù.
Áö¸à½º´Â ¿À´Ã ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ ÃÊ±â °í°´ÀÌ À̱âÁ¾ ĨÀÇ ÆÐÅ°Áö ³» °í¹Ðµµ »óÈ£ ¿¬°á¿¡ ´ëÇÑ ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ EMIB(ÀÓº£µðµå ¸ÖƼ ´ÙÀÌ »óÈ£ ¿¬°á ºê¸®Áö) ¹æ½ÄÀ» È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â EMIB ·¹ÆÛ·±½º Ç÷ο츦 Á¦°øÇÑ´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù. ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ °í°´Àº ÀÌ Á¶±â äÅÃµÈ ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸® EMIB ¿öÅ©Ç÷ο츦 ÅëÇØ ¼º°øÀûÀÎ ¼³°è ¹× Å×ÀÌÇÁ ¾Æ¿ô¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¸ðµç Áß¿äÇÑ ÀÛ¾÷À» ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®°¡ °³¹ß ¹× °ø±ÞÇÏ´Â ÆÐÅ°Áö ¾î¼Àºí¸® µðÀÚÀÎ Å°Æ®(PADK)¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ EMIB °í°´Àº Áö¸à½ºÀÇ Calibre nmPlatformÀ» È°¿ëÇÏ¿© DRC, LVS ¹× 3DThermal ºÐ¼®À» À§ÇÑ EMIB ½Ç¸®ÄÜ ·¹À̾ƿôÀ» °ËÁõÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¶ÇÇÑ »óÈ£ °í°´Àº Áö¸à½ºÀÇ Xpedition ¼ºê½ºÆ®·¹ÀÌÆ® ÀÎƼ±×·¹ÀÌÅÍ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î, Xpedition ÆÐÅ°Áö µðÀÚÀÌ³Ê ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î, Hyperlynx SI/PI ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î, Calibre 3DSTACK ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ÆÐÅ°Áö ¹× ¼ºê½ºÆ®·¹ÀÌÆ® ½Ã½ºÅÛ °èȹ, ¼³°è ¹× °ËÁõÀ» ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ¾÷°è¸¦ ¼±µµÇÏ´Â Áö¸à½ºÀÇ IC ¹× ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰ¡ Æ÷Æ®Æú¸®¿ÀÀÇ Àü¹®¼º°ú ¼¼°èÀû ¼öÁØÀÇ ±â¼úÀ» È°¿ëÇÏ¿© Æ÷°ýÀûÀÎ ÆÐÅ°Áö ¾î¼Àºí¸® ÇÁ·ÎÅäŸÀÌÇÎ ¹× Ç÷ξîÇ÷£ ¼³°è¸¦ Á¦°øÇÏ°í, Xpedition Substrate Integrator¿Í Calibre¸¦ ÅëÇÏ¿© ½ÃÇÁÆ®·¹ÇÁÆ® °üÁ¡ÀÇ Ãʱ⠿¹Ãø ´ÙÁß ¹°¸® ºÐ¼®À» È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
|