글로벌 첨단 반도체 장비기업 ASM이 새로운 듀얼 챔버 플랫폼인 PE2O8 실리콘 카바이드 에피택시 시스템(PE2O8 Silicon Carbide Epitaxy System 이하, PE2O8 시스템)을 공식 출시했다. 첨단 SiC 전력 반도체 소자 부문을 위해 설계된 PE2O8은 높은 공정 균일성과 생산성, 낮은 운영비용 및 정밀한 결함(defect) 관리가 특징인 대표적인 에피택시 시스템이다.
전기차, 친환경 에너지, 데이터센터 등 고전력, 고효율 기술을 요하는 산업 시장이 세계적으로 부상하며 실리콘 카바이드(SiC) 반도체가 필수적인 요소로 자리 잡은 가운데, SiC 수요와 비용 절감 필요성이 증대되어, 생산량을 늘릴 수 있는 8인치 SiC 기판으로 전환이 이루어지고 있다. 또한 SiC 소자 제조 기업들은 SiC 에피택시 시스템의 이점을 활용하기 위한 고전력 소자를 설계하고 있다.
이러한 환경에 맞춰 새롭게 선보인 ASM의 PE2O8 시스템은 6인치와 8인치 웨이퍼 모두 호환 지원함으로써, 기존 자사 싱글 웨이퍼 SiC 에피택시 시스템(6인치 PE1O6 및 8인치 PE1O8) 포트폴리오를 더욱 확장하였다.
독자적인 설계 방식을 기반으로 구현된 듀얼 챔버 PE2O8은 SiC 초정밀 제어 기술과 우수한 공정 균일성으로 SiC를 증착해 수율 및 처리량을 늘려 생산성을 더욱 향상시키는 동시에 총 운영비용은 절감한다. 더불어, 더욱 편리한 사고 예방적 유지보수 기능으로 가동 시간은 늘리고 예상치 못한 시스템 중단(downtime)은 줄여준다. 해당 제품은 이미 SiC 전력 소자 제조 부문의 선두기업들을 포함해 전 세계 고객 기업을 대상으로 제공되고 있다.
한편, 전기차 수요 증대와 함께 전반적인 SiC 웨이퍼 및 소자 수율 향상으로 SiC 에피택시 장비 시장은 최근 수년간 대폭 성장했으며, ASM은 2022년 이래 신규 SiC 에피택시 제품을 통해 싱글 웨이퍼 SiC 에피택시 시스템을 발전시켜 왔다. ASM코리아는 현재 경기 화성 동탄에 R&D센터 및 제조공장을 보유하고 있으며, 주력 제품인 원자층 증착장비(ALD), 플라즈마원자층증착(PEALD) 제품을 비롯해 에피택시(Epitaxy) 제품의 생산 및 원천기술 연구를 진행하고 있다.
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